1.泵不轉：情況不明不能先開真空泵，以免加重故障。用手能盤動和不能盤動。

　　2.漏水：可以發生在水管頭，水套悶蓋平面，放水孔螺塞，放水閥等處，水套鉆穿，鑄件缺陷，凍裂，也可能導致漏水。

　　3.漏油：可以發生在軸封，油箱與泵零部件的密封面，放油塞、油標、油孔悶頭、定子部件與支座的通孔連接處，氣鎮閥等部位。可由密封件老化，安裝不當，損壞失效，表面不平整、有雜質、粗糙和鑄件疏松等引起。如果停泵后返油，油會進入氣鎮閥，不關氣鎮閥可能會漏油。

　　4.泵溫太高：指低級排氣閥附近測得的z高油溫超過使用說明書規定值。由于泵溫升高會使泵油粘度大幅下降，并使用泵油的飽和蒸汽壓升高，使泵的極限壓力升高和抽氣效率下降；使橡膠件容易老化；熱膨脹使運轉的可靠性。

　　5.噪聲：真空泵的結構設計，電機與泵軸承的噪聲，旋片等運動件是否滑暢、進油量太多、風扇、傳動件產生的噪聲、進氣量大，開氣鎮運轉、擋油板等泵內零件松動，安裝不平等引起振動，都會影響泵的噪聲。

　　6.噴油：防止噴油用的油盒回油孔的大小、位置、密封狀況，擋油板的設計、安裝，排氣口部分的減霧器、擋油帽、油氣分離器，油位的高低，進油量的大小，都會影響泵的噴油。

　　7.極限壓力不過標：可由外漏、內漏、油孔堵塞、泵油質量不良或污染變質、有水汽等到可凝性物質、儀器儀表失真、泵運轉不正常等引起。

　　8.泵能盤動而不轉：可能是聯軸器故障；皮帶打滑；電機接線有誤；電機損壞；電源沒電等。

　　9.不能盤動或盤起來很重：可能是因為起動泵溫太低，泵油粘度太高；設計制造原因的停泵返油太多。